AP-600等离子系统 :紧凑型、桌面式等离子处理设备

   日期:2024-12-27    作者:spainloreal 移动:http://ljhr2012.riyuangf.com/mobile/quote/62643.html

AP-600等离子系统

——紧凑型、桌面式等离子处理设备

 

 

AP-600是特别设计的均匀清洗和处理的等离子设备,具有易操作性强、可靠性高、低成本的优点。AP-600是完全独立的系统,需要很小的空间。等离子腔体、控制设备、13.56MHz的等离子发生器和自动匹配网络都安装在底盘上,一个连锁的门和面板提供了维护通道。等离子腔体由耐用的高品质铝做成的,并且带有铝支架。腔体里有最多达7个可移动的、可调整的电源极或接地极支架,以适应更款范围的器件、组件或工装(盒、盘或舟)。

 

清洗、表面活化、改善粘性

AP-600系统适合多种多样的等离子清洗、表面活化和改善粘性等应用,广泛应用在半导体器件制造、微电子封装和组装、医疗设备器件和生命科学器件的制造等。AP-600适合多种工艺气体,例如ArO2H2He及氟化合物气体,通过2个(标准配置)气体质量流量控制器控制气体的标准,系统还可以选配2个气体质量流量控制器来提高系统的控制性能。

 

半导体和微电子应用举例:

粘片前进行处理,提高芯片附着力;

键合前进行处理,提高键合强度;

塑模和封装前进行处理,减少封装分层;

倒装片采用底部填充工艺前进行处理,可以提高填充速度、减少空洞率、增加填充高度及一致性、增加填充物的附着力。

 

AP-600性能:

触摸屏控制及图形用户界面,提供实时过程显示;

灵活的支架,具有适应多种器件、组件及工装的能力;

带有自动匹配网络的13.56MHzRF发生器,***设备优异过程一致性;

设备满足简便的定期校准需要。

 


特别提示:本信息由相关用户自行提供,真实性未证实,仅供参考。请谨慎采用,风险自负。


举报收藏 0评论 0
0相关评论
相关最新动态
推荐最新动态
点击排行
{
网站首页  |  关于我们  |  联系方式  |  使用协议  |  隐私政策  |  版权隐私  |  网站地图  |  排名推广  |  广告服务  |  积分换礼  |  网站留言  |  RSS订阅  |  违规举报  |  鄂ICP备2020018471号